技术编号：15552730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及坩埚透明层厚度测量技术领域，尤其是一种自动测量坩埚透明层厚度的装置及方法。背景技术目前测量坩埚透明层厚度的通用方法是将坩埚打碎后，通过在断面渗油或加水，然后从侧面观察透明层的厚度，并用卡尺或具有测试功能的显微镜等人工逐个取点测量，存在测量效率低，耗时长，测量误差大，自动化程度低的缺陷，并且属于损坏型测试，随着坩埚尺寸的增大，产能需求的增多，人工破碎测量的难度也逐渐增大，测量成本高，只能抽检，无法满足工业生产的需要。发明内容本发明的目的是提供一种测量效率高，耗时短，测量精度高，自动化程度...
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