技术编号：15555914
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学设备技术领域，具体而言，涉及一种热驱动变形镜。背景技术变形镜是自适应光学系统的核心设备，热驱动的变形镜主要运用于需要有效抑制检测中噪音的干涉仪引力波探测器中，热驱动的变形镜结构简单，具有较好的稳定性和稳健性。现有的变形镜是通过水通道和散热器来给铜柱和热电制冷器进行散热，能够使变形镜维持稳定的温度范围。然而，现有变形镜容易导致铜柱内部温度分布不均，造成铜柱的伸长和收缩量不一致，影响制冷器性能。发明内容本发明的目的在于提供一种热驱动变形镜，通过热电制冷器控制驱动柱的伸缩变形量，通过热电...
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