技术编号:15564263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及锂电池领域,具体是一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置。背景技术随着科技的发展,社会的进步,国家一直促进高科技的发展,在锂电池领域中,一直存在一个比较困难的技术问题,就是在对非晶硅薄膜刻蚀时,传统的刻蚀方法效率极低且自动化程度不高,无法快速刻蚀出高质量大批量非晶硅薄膜,导致非晶硅薄膜电池生产受限,此装置有效解决了此问题。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置,其能够解决上述现在技术中的问题。本发明是通过以下技术方案来实现的:本发明的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置,包括...
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