技术编号:15574388
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具备空气调节装置,并从该空气调节装置向温度控制对象空间供给被温度控制的空气的空气调节系统。背景技术半导体制造设备中的无尘室的室内温度通常通过从空气调节装置供给的被温度控制的空气而被严格地管理。例如,在设置有进行光致抗蚀剂的涂布及显影的装置(涂布机等)的无尘室中,需要将室内温度控制为目标温度的+0.05℃至-0.05℃的误差范围内。作为能够对应这样的无尘室的空气调节装置,以往提出了各种装置(例如,参照专利文献1)。在向无尘室供给被温度控制的空气的情况下,空气调节装置一般配置于无尘室的外部...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。