用于光耦合的波导结构的制作方法技术资料下载

技术编号:15574991

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本申请要求2016年2月12日递交的发明名称为“用于光耦合的波导结构(WAVEGUIDE STRUCTURE FOR OPRICAL COUPLING)”的第16155525.5号欧洲专利申请案的在先申请优先权,该在先申请的内容以引用的方式并入本文本中。技术领域本发明涉及用于光耦合的波导结构,并且涉及其制造方法。具体而言,波导结构可以通过一个设备到另一设备或到衬底的转印获得。波导结构以低损耗优选实现两个耦合设备之间的垂直光耦合。同时,波导结构允许设备之间存在大的对准容差。为此,波导结构采用波导“...
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