技术编号:15576069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种物理气相沉积用的防着板及物理气相沉积设备。背景技术平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)及有机电致发光显示器(Organic Light Emitting Display,OLED)。液晶显示器与有机电致发光显示器的制作过程均涉及镀膜制程,这使得镀膜设备和沉积方法等广泛应用于液晶显示器与有机电致发光显示器的镀膜制程中。例如,采用物理气相沉积(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。