技术编号:15576140
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于碳/碳复合材料化学气相沉积技术领域,涉及一种化学气相沉积炉气体预热装置。背景技术碳/碳复合材料在化学气相沉积过程中一般要进行碳源气预热,以提高,化学气相沉积过程的致密化效率和产品质量。目前碳碳复合材料化学气相沉积过程所用预热装置主要有两种,单筒式预热装置和层板式预热装置。筒式预热装置为单个光壁石墨筒形结构,放置于炉膛碳源气进气口之上,通过金属进气管将碳源气导入预热器顶部,碳源气由预热器顶部向下流动,碳源气在预热器内部流动过程中预热器进行热交换升温,之后由预热器底部流出,完成预热。该装置...
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