技术编号:15592808
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种应用在垂直腔面发射激光器中的分布式布拉格反射镜。背景技术直腔面发射激光器(VCSEL)的有源区厚度仅有几个纳米,单程增益很低。为实现激射必须在有源区上、下两侧生长分布式布拉格反射镜(Distributed Bragg Reflector,DBR)。典型的DBR反射镜结构是通过对四分之一波长厚的高(如低Al组分的AlxGa1-xAs)、低折射率(如AlAs)薄膜交替生长几十个周期来得到设计预期的高反射率。为了保证DBR具有很高的反射率和较宽的反射带宽,构成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。