技术编号：15611383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光干涉测量仪器技术领域，特别是一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法。背景技术马赫-曾德尔型干涉仪采用被测光束与参考光束的分光路设计，与泰曼型不共光路干涉仪相比，马赫-曾德尔型干涉仪基本没有光返回到激光器中造成不稳定噪声，更有利于干涉测量。目前，马赫-曾德尔型移相干涉仪主要是采用PZT移相器件来控制光程的变化，如将光纤绕在一管状PZT上，利用PZT的逆压电效应，当通过直流电压时，PZT管会沿直径方向膨胀或缩小，也就是其外径会产生变化，这就使绕在它上面的光纤会产生长度的变化而使其...
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