技术编号：15621028
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种倾斜台面的制备方法及探测器的制备方法。背景技术由于大气中臭氧和其它分子的吸收与散射作用，波长在100纳米至280纳米范围内的紫外辐射在地面上几乎不存在，因此，将该日盲区波段作为响应波段的紫外探测器，具有自然光辐射背景干扰小、虚假预警率低等优点，在紫外预警、紫外通信、紫外天文等领域有着重要的应用前景。具有正倾角台面的紫外探测器能够有效抑制器件提前击穿，且台面倾斜角度越小，越有利于抑制器件提前击穿。通常情况下，正倾角台面通过光刻胶回流方法制备得到。目前，制备倾斜...
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