技术编号：15621037
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体光电子领域，具体涉及一种3～5μm红外波段雪崩光电二极管探测器及其制作方法，特别是一种高响应速度低噪声的3～5μm红外波段雪崩光电二极管探测器及其制作方法。背景技术红外焦平面阵列(IRFPA)探测器兼具辐射敏感、电荷存储和多路传输等功能，是第二代红外热成像系统采用的位于光学系统焦平面而带有信号处理能力的面阵探测器，在红外制导、跟踪、凝视成像等武器设备上广泛应用，例如，2048×2048的InSb红外焦平面阵列探测器量产性优异而在国外的技术实践中大量使用。然而，近年来对于第三代红外...
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