技术编号:15627024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料蒸发技术领域,特别是涉及一种电阻蒸发器。背景技术在太阳能电池、OLED发光器件等行业对真空蒸发速率的稳定性的要求越来越高。例如,在钙钛矿薄膜太阳能电池制备时,需要碘化铅、碘甲氨两种材料以稳定的蒸发速率达到一定的配比;在制备OLED发光器件时,需要4种有机材料以一定配比混合蒸发,稳定材料的蒸发速率是核心技术之一;在制备柔性太阳能电池及其显示器件时,需要大面积连续蒸镀,蒸镀过程需要长时间稳定速率蒸发材料以满足工业生产的稳定性。而现有的蒸发器的蒸发速率的稳定性不高,还没有蒸发速率的稳定性...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。