技术编号:15632309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及成分分析与机械领域,具体涉及一种样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法。背景技术显示器的显示面板包括多层膜结构,例如,LTPS(Low Temperature Poly-Silicon,低温多晶硅)基板上设有用于电信号传输的走线、TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)、有机层等。显示面板在制造过程中会产生大量的微观异常,最多的就是膜上异物(即位于膜上的异物)和膜内异物(即位于膜内的异物)。现有技术通常使用FTIR(Fourier Transform infra...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。