技术编号：15657619
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气嘴组件及晶圆盒承载装置，特别是一种应用于晶圆盒载运装置的气嘴组件，及具有气嘴组件而可对晶圆盒的内部进行气体交换的晶圆盒承载装置。背景技术现有的应用于晶圆盒承载装置的气嘴，是利用弹性的橡胶或是相关材料一体成型地制成。此种气嘴在晶圆盒固定设置于承载装置上时，气嘴受晶圆盒抵压后，会向任意方向变形，从而导致晶圆盒与多个气嘴之间无法有效达到气密的效果。另外，现有的承载装置为了使晶圆盒稳固地固定设置于承载装置上，多会于承载装置上设置有相关的夹具，然而，当夹具使晶圆盒固定设置于承载装置时，...
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