技术编号:15659328
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光领域,尤其涉及一种气体激光装置。背景技术在以往的技术中,气体激光装置输出的激光可以用于外部设备,例如曝光装置。图1是现有的气体激光装置与外部的曝光装置进行连接的一示意图。如图1所示,气体激光装置1通过外部光路管2与曝光装置3连接,气体激光装置1输出的激光通过外部光路管2中的反射镜4和5输出到曝光装置3中。应该注意,上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明,并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。