技术编号：15675548
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于MEMS制造领域，涉及一种带有背腔结构的MEMS空气质量流量计芯片制造方法，特别是一种带薄膜背腔的空气质量流量计芯片的制造方法。背景技术车用空气质量流量传感器是用于现代汽车电控系统中的电子器件。安装在空气滤清器和节气门之间，用来测定吸入发动机空气量的多少，转化为电信号后传给ECU，作为决定基本喷油量的参数,是空气流量传感器作为测量空气进气量的传感器是决定系统控制精度的重要部件之一。热膜式空气质量流量传感器属于量热式传感器，根据托马斯提出的“气体的放热量或吸热量与该气体的质量流量成正比”...
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