技术编号：15676731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于功率半导体技术领域，涉及一种具有阶梯埋氧层的超结横向高压器件。背景技术功率半导体器件作为电力电子系统的核心器件，是现代生活中不可或缺的重要电子元件。随着应用范围的拓宽，其应用领域从家用消费类电子设备延伸到各类工业设备、能源和航天等领域。近年来，随着科学技术的飞速发展，使得半导体技术逐渐形成两大分支：一个是以大规模集成电路为核心，实现对信息的存储、处理以及转换；另一个则是以功率半导体器件为核心，应用于电源和控制电路，实现对电能的处理和变换。功率器件全称是功率半导体器件或半导体功率器件，简...
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