技术编号:15687162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及PVD涂层生产工艺领域,特别是一种涉及到PVD涂层生产制造过程中的等离子刻蚀清洗工艺。背景技术PVD涂层技术出现于20世纪70年代末,由于其工艺的处理温度较低,可以控制在500℃以下,不会影响一些工件材料的基体硬度,因此可以作为高速钢和硬质合金材料刀具、模具的最终处理工艺。在不影响工件原有尺寸的情况下,PVD涂层可以用来改善工件的表面外观,提高工件的表面硬度及增加耐磨性,而且PVD涂层具有很好的导热、防腐蚀和抗氧化性能。所以该技术自上世纪八十年代以来得到了迅速推广,至80年代末,工业发...
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