技术编号：15713529
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光直写曝光机技术领域，具体涉及一种用于激光直写曝光机的自动升降的Z轴装置。背景技术激光直写曝光机相对于传统曝光机，节省了制作菲林底片或光罩的工序，其产能高、对位精度高。激光直写曝光机在曝光之前，先要进行聚集Z轴基于曝光基板的最佳焦面的定位、CCD系统的对准作业后，才开始光路系统的曝光作业，Z轴在激光直写曝光机中是不可或缺的运动部件。但对于解决激光直写曝光机能曝光不同厚度的基板以及基板平面度问题带来的离焦问题，现有的Z轴还不能解决该问题。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于...
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