技术编号:15722979
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅领域,特别涉及一种多晶硅切割用夹具。背景技术目前晶体硅片广泛应用于微电子或太阳能电池领域,是硅料经直拉法或铸绽法制成单晶棒或多晶硅锭,切割成硅块后,需要对硅块的表面进行研磨,提高表面粗糙度。由于研磨过程中,所受外力较大,需要对硅块进行夹紧,现有技术中一般采用双侧夹紧,但是这种夹紧方式在单向研磨时尚可,当砂轮交叉研磨时或者需要换向时,往往需要调整夹紧方向以保证硅块的受力方向和夹紧力的方向相同,否则容易造成硅块的便宜甚至弹出。而这种操作方式较为繁琐。现有技术中也有采用双向夹紧的设...
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