技术编号：15732358
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过使用了白色光源的干涉计测来进行三维形状计测的方法。背景技术扫描型白色干涉显微镜是通过对试样照射白色光并将所获得的干涉信号转换为高度信息来进行三维计测的装置，根据所获得的干涉信号进行各种计算从而进行表面形状、高度、高低差异、膜厚、表面粗糙度、同种材料/异种材料等的判定。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维计测中，以往，为了不丢失传感器所计测的干涉信号的信息，调整光源的光量，使得干涉信号强度不超过传感器的输出饱和值。例如，在专利文献1中，通过OCT(optical coherence t...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。