技术编号：15737865
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求2016年1月19日提交的，题为用于气体传感器装置的CMOS集成微型加热器的，申请序列号为15/000,729的美国非临时专利的优先权，其全部内容通过引用并入本文。技术领域本公开的主题涉及一种气体传感器装置。背景技术一些气体传感器依赖于在气体存在的同时化学传感材料中的物理变化或化学变化，以确定周围环境中的气体浓度。此外，一些化学传感材料优选在高于正常环境温度或室温的温度下操作。然而，将传统加热器结合在气体传感器装置中会导致对气体传感器装置的其他集成部件的损坏，增加气体传感器装置的成本和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。