技术编号:15740659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压印装置、操作压印装置的方法和制造物品的方法。背景技术在使模具(mold)与放置在基板上的压印材料接触的同时固化压印材料以在基板上形成图案的压印技术已受到大量的关注。在模具中形成由凹部制成的图案。当使模具与基板上的压印材料接触时,通过毛细管现象在凹部中填充压印材料。为了促进压印材料在凹部中的填充并防止压印材料因空气(氧气)固化,吹扫(purge)气体被供给到基板和模具之间的空间。当压印材料在凹部中充分填充时,诸如光或热等的能量被施加到压印材料。因此,压印材料被固化,并且由在模具中形成的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。