技术编号:15741060
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电磁波检测器,特别涉及将石墨烯用于光检测层的电磁波检测器。背景技术在以往的电磁波检测器中,一般使用半导体材料作为检测层,但由于半导体材料具有预定的带隙,所以仅能够检测具有比带隙大的能量的电磁波。相对于此,提出了将带隙为零或者极其小的石墨烯用于检测层的电磁波检测器(例如参照专利文献1)。另外,提出了通过在SiC基板上层叠石墨烯层和具有比石墨烯层大的功函数的金属氧化物、在石墨烯层中设置pn结区域从而使光电流增加的构造(例如参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特表2013-...
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