技术编号:15741431
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明整体涉及半导体设备,并且具体地涉及光电设备及其制造。背景技术垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)为半导体激光器,其中在垂直于基板的方向上从激光器的顶部或底部发出高度定向的激光辐射。VCSEL被制造成单个激光器或激光器阵列,并且它们能够具有高发射功率。发明内容下文描述的本发明的实施方案提供了用于制造VCSEL的改进方法以及通过此类方法制成的VCSEL。因此,根据本发明的一个实施方案,提供了一种光电设备,该光电设备包括半导体基板与第一组外延层,该第一组外延层形成在该基板的区域上,从而限定下分...
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