技术编号：15748756
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具备主泵及增压泵的真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。背景技术近年，能够在大气压下动作且容易得到干净的真空环境的干式真空泵作为半导体制造设备的组件或者作为液晶的制造设备等而被使用于广阔的领域。以往，在内置主泵(MP)和增压泵(BP)的干式真空泵的运转中，泵控制部、压力传感器、主泵逆变器以及增压泵逆变器被使用。并且，在增压泵的启动中，压力传感器是必要的。其理由如下。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口，主泵的进气口与增压泵的排气口连通。增压泵的进气口是真空泵装置的进气侧，主泵的排...
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