技术编号：15769849
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及发明涉及一种在晶圆搬运过程中的检测装置，尤其是涉及一种晶圆缺口的对准检测装置。背景技术晶圆的生产过程中大量工序需要预先获得晶圆准确的定位，晶圆准确的定位，其工作性能直接影响整个制造工艺的精度和效率。晶圆对准一般主要包括晶圆缺口和晶圆的圆心的确定，并且在生产制程中大多工序是出于真空环境下，传统的晶圆缺口检测定位装置是通过于线阵CCD的晶圆对准方法，此方法需要在晶圆缺口设定位置的正上方安装激光发射装置，在晶圆缺口设定位置的正下方安装CCD线阵光电器件，CCD接收穿过晶圆缺口的激光来判断...
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