技术编号:15775567
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MEMS缓冲器结构,是气体传感器检测气体浓度时对来流气体进行缓冲降速作用的结构。背景技术微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上结合机械、化学、物理、生物等技术发展而来的一种具有微型结构的机械电子系统。微传感器,即MEMS传感器,是在MEMS技术的基础上产生的新型传感器,相对于传统的传感器,它的优势之处在于尺寸结构小、生产成本低,并且在消费电子、智能化汽车、医疗服务等方面都有这广泛的开发应用。MEMS气体传感器是一种用来测量气体浓度的微传感器。它具有响应时间短、灵敏度高、稳定性...
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