技术编号:15799469
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域,具体涉及的是一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统。背景技术目前,商用的气体传感器大多是半导体传感器或者电化学传感器,其输出的信号一般为电信号,尺寸一般为厘米级以上。由于输出的是电压或电流信号,往往受外界干扰大,导致传感器误差大、测量精度不高,因此在实际应用中还需要设计配套电路,例如I/V转换、前置放大电路等。而半导体气体传感器在测量之前往往还需要长时间的预热,才能保证较高的测量精度,并且响应速度较慢。另外,对于多种气体浓度测量的微型集成传感器还非常少见,即使是...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。