技术编号:15801106
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基板处理装置。更具体地,涉及具备用于控制本体内侧表面的温度的本体发热部,通过对本体的形状应用倾斜角,以防止基板处理气体或挥发性物质冷凝于本体的内侧壁,当被冷凝时,能够使被冷凝的物质沿着本体的内侧表面向下流动的基板处理装置。背景技术在制造显示装置或半导体器件时所用的基板处理装置中,能够对用于处理基板的腔室内部供给大量的气体,或者从腔室内部排出大量的气体。出于在基板上形成薄膜,或者在基板的薄膜上形成图案,或者改变腔室内部的气氛等的目的,这种气体可以供给到腔室内部,或者从腔室排出到外...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。