技术编号:15811187
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种压力传感器及其制备方法。背景技术压力传感器是将压力信号转变为电学信号的设备,其广泛应用于工业实践中,例如机器人,生产自控、航空航天、水电交通等,它与通讯技术以及计算机技术构成了信息产业的三大支柱。随着科技的发展以及人类生活的需要,压力传感器已经逐渐走向了微型化、集成化以及智能化。小型的压力传感器的环境适应性强,可以抵抗很多不利的环境因素,且生物相容性强,可以应用于医学生物领域。在微型电子器件的集成化发展进程中,压力传感器也得以与其他传感器集成为多功能的传感体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。