技术编号：15824057
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及一种光学外径测量设备。背景技术公开了一种光学外径测量设备(例如参照专利文献1、2)。这种光学外径测量设备被设计成使得通过旋转镜旋转的并转换为扫描光的光束被准直透镜准直，并且被测物体设置在准直透镜和聚光透镜之间，从而使其可以测量待测物体的尺寸。引文列表专利文献专利文献JP-U-62-174210专利文献JP 59-83007 A发明内容技术问题然而，空气可能例如由旋转镜的旋转引起的空气流动或者用于使旋转镜旋转的电机的热量而受到干扰。在出现空气干扰的情况下，光路可能会受到干扰，从而降低测量...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。