技术编号：15827051
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用作减反射膜的光学薄膜。光学薄膜可以适用于诸如透镜和棱镜的光学元件。背景技术迄今为止，已知一种多层膜，在该多层膜中，高折射率层和低折射率层交替层叠，作为用于诸如透镜的光学元件的减反射膜。应当指出，在下面的描述中将该多层膜称为光学薄膜。已知氟化镁(MgF2)作为沉积在构成光学薄膜的层中的空气侧上的低折射率层的材料。作为形成氟化镁膜的方法，溅射工艺引人注目。虽然溅射工艺是通过利用诸如等离子体的带电粒子通过雾化和飞散材料来形成膜的方法，但与真空沉积方法相比，该工艺在膜厚的重复性和可控性高且成...
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