技术编号：15827285
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2017年4月20日提交的意大利专利申请No.102017000043616的优先权权益，该申请的公开内容通过引用以法律允许的最大程度全部并入本文。技术领域本发明涉及振荡结构、包括该振荡结构的光学设备以及制造该振荡结构的方法。特别地，振荡结构被设计为减少属于所述振荡结构的移动(振荡)质量块的动态变形。在一个实施例中，移动质量块携带反射层并且振荡结构至少部分地形成微反射镜。背景技术至少部分由半导体材料制成并使用微机电系统(MEMS)技术制造的微机械反射镜结构(或反射器)是已知的。MEM...
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