技术编号：15827288
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种滤波器，尤其涉及一种基于MEMS技术的可调光滤波器背景技术可调光滤波器是一种重要的光通信器件，用于滤出系统所需要的波长，并将不需要的波长信号屏蔽掉，广泛应用于波分复用系统、可重构光分插复用系统、光性能监控、光器件测试和光电传感等领域。实现可调光滤波器的技术主要包括：马赫-曾德干涉型滤波器、基于F-P腔的滤波器、基于光栅的滤波器、基于介质薄膜的滤波器等。随着微电机系统(Miro-Electro Mechanical Systems，以下简称MEMS)和介质镀膜技术的发展，可调光滤波器...
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