技术编号：15838553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种等离子体处理装置和控制方法。背景技术作为监视等离子体的状态的方法之一，已知发射光谱测量(OES：Optical Emission Spectroscopy)。在发射光谱测量中，利用放电等离子体来使试样中的对象元素蒸发气化来进行激发，对所得的元素固有的明线光谱(原子光谱)的波长进行定性，根据发光强度进行定量。专利文献1：日本特开2016-207915号公报专利文献2：日本特开平9-192479号公报专利文献3：日本特开2011-60852号公报专利文献4：日本特开2013-77441...
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