技术编号:15860014
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超光滑玻璃镜片抛光技术领域,具体涉及一种超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法。背景技术超光滑玻璃镜片(rms≤0.3nm)在强激光系统、激光陀螺、极紫外光刻、地球引力波检测系统等方面有着重要而广泛的应用。目前,制造这种超光滑玻璃镜片的方法有传统古典式抛光法、浮法抛光法、离子束抛光法等,其中以传统古典式抛光法所获得的超光滑玻璃表面具有很高的性价比,因而,在工业化生产中获得了广泛的应用。古典式抛光的不足之处是:抛光过程形成的亚表面损伤层隐藏在玻璃镜片表面下,亚表面损伤层中存在着残留气体分子、氮化...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。