技术编号：15865726
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅制备技术领域，特别涉及一种长晶炉。背景技术随着金刚石线切片技术的推广，切片对晶体铸锭切割线的要求越来越高，铸锭内的硬质点是切片断线的主要原因。硅料及坩埚等在铸锭炉内的加热、熔化、长晶、退火过程中会释放出很多有害气体(如硅蒸气、一氧化碳等气体)。现在的排气方法是在坩埚侧护板上以及炉体的炉壁上开孔排放有害气体，而使气体自然的经过护板以及炉壁排出，这种排气方式效果不好，气体会在硅料和坩埚长晶炉间形成涡流，有害气体会再次进入硅料中，对铸锭质量产生影响，硅锭中容易出现硬质点，对后续的开...
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