技术编号:15880148
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种清洁装置。背景技术近年来,开发有一种清洁装置,用以去除附着于平板显示器(Flat Panel Display,FPD)用的玻璃基板、或树脂基板、或搭载电子零件的印刷基板、或用以形成层叠陶瓷电容器等的陶瓷生片(ceramic green sheet)、或树脂薄板、或膜等对象物的表面上的尘埃等异物。作为此种清洁装置,例如提出有如下的清洁装置:利用带电刷去除对象物表面的异物,并利用电场力(electric field force)且利用清洁辊来搬送及回收所述经去除的异物(参照日本专利特开...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。