用于超细颗粒尺寸检测的激光传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:15883558

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本发明涉及用于超细颗粒尺寸检测的激光传感器或激光传感器模块以及超细颗粒尺寸检测的相关方法。本发明还涉及对应的计算机程序产品。背景技术通常,认为光学技术不能够检测超细颗粒(在300nm或更小量级上的颗粒尺寸)。颗粒的有效反射随着颗粒尺寸而大幅减小,这不仅是由于颗粒的尺寸小,而且还由于MIE散射给出的减小的反向散射效应(对于0.1微米与1微米之间的直径为~D2,而对于<0.1微米的直径为~D4,其中,D为颗粒的直径)。由于信号幅度的急剧减小,不再能够区分超细颗粒与噪声。SUDOL S等...
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