技术编号：15884049
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及放电灯及其更换方法、具备放电灯的光源装置、使用该更换方法的曝光方法、具备该光源装置的曝光装置、以及使用曝光技术的器件制造方法。背景技术在用于制造各种器件(液晶显示器件或半导体器件等)的光刻工序中，为了将形成于光罩的图案向涂布有感光材料的基板(玻璃板件或半导体晶片等)转印而使用的一次曝光型的投影曝光装置及扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置中，存在具备由超高压水银灯等放电灯和聚光镜组合而构成的曝光用光源装置的类型。在以往的光源装置中，存在如下光源装置：在放电灯的一方的灯头设置凸缘部及层差部...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。