技术编号：15888263
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻版加工领域，特别涉及清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机。背景技术光刻版在发光二极管外延片的加工制作过程中应用非常广泛，其上具有一定的图形结构，该图形结构可通过曝光、显影及刻蚀操作转移至芯片上以在芯片上形成特征图形。光刻版在使用一段时间后，其表面会染上脏污，因此需要对光刻版进行定期清洗以保证其正常使用。现有的光刻版通常都是通过清洗机进行清洗，清洗机包括载台与清洁刷，载台上具有矩形固定挡块，矩形固定挡块与光刻版的四周相贴，清洗机控制载台绕光刻版的垂线进行旋转，同时清洗机控制清洁刷一边转...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。