技术编号：15894709
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及MEMS技术领域，特别涉及一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，是一种具有氮化硼保护层的悬空二硫化钼传感器结构，该结构可使二硫化钼离子传感器获得更好的检测下限、提高长期稳定性、降低形变对器件的影响。背景技术目前，可穿戴柔性传感器发展的瓶颈在于敏感材料的性能无法满足需求。二维材料二硫化钼的出现为解决以上问题带来希望。二硫化钼具有极大的比表面积(可提升灵敏度；极低的噪声(可获得更好的检测下限；高断裂应变(抗弯折；易于加工与集成的潜力，因此是理想的敏感材料。目前文献报道的二硫化钼传感器性能受到...
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