技术编号：15899522
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于气相沉积炉密封技术领域，具体涉及一种气相沉积炉的密封结构。背景技术密封技术在我国的发展源远流长，古人曾经用棉、麻等纤维来做提水机械的密封件，而在国外，1782年也开始使用填料，如今国外已经出现研究密封规律、密封装置设计技术和应用科学原理的学科—“密封学”，由此可见密封技术的重要性；密封学所设计的专业领域非常多，除了材料和机械方面，还有力学（包括流体力学、边界层理论等）、摩擦学、自动控制等。密封件的作用使它成为国防、化工、石油、煤炭、交通运输和机械制造等国民经济主要行业中的基础部件和...
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