技术编号:15900538
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型的实施例涉及半导体激光器,尤其涉及一种垂直面腔表面发射激光器(VCSEL)及其制备方法。背景技术垂直面腔表面发射激光器(VCSEL)作为一种新型的半导体激光器,与普通的边缘发射激光器相比,具有阈值电流低、效率高、功耗小、光发散角小、易与光纤耦合、易集成等优点,在光信息处理、光互联、光计算、照明、显示等方面都有广阔的应用前景。半导体激光器结构可以简化成由具有增益特性的材料层以及两端的反射镜。垂直面腔表面发射激光器(VSCEL)的特别之处在于:它采用高低折射率材料层周期性排布的分布式布拉格...
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