技术编号:15939858
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种存储器的形成方法。背景技术在目前的半导体产业中,集成电路产品主要可分为三大类型:逻辑器 件、存储器件和模拟电路,其中存储器件在集成电路产品中占了相当大的 比例。存储器中通常包括多个存储单元,所述存储单元例如为存储晶体管。随着半导体制作工艺中集成度的不断增加,提升存储器的集成密度已 成为一种趋势。然而,在元件尺寸缩减的要求下,存储晶体管的导电沟道 的宽度也会随之缩减,进而使得存储晶体管的驱动电流和导通电流下降。发明内容本发明的目的在于提供一种存储器的形成方法,...
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