技术编号:15939945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及冷却设备技术领域,尤其是涉及一种冷却盘体及冷却盘体加工方法。背景技术在半导体机台中,冷却盘体起到冷却作用。冷却盘体的冷却作用是通过内部的水道实现的,内部密封性好的水道通满冷却水,在冷却水循环的过程中会带走腔体内部的热量,起到冷却的作用。由此可知,水道内部的流量和强度将直接影响盘体的散热效率,且水道不能出现焊接缺陷、渗漏等异常。如图1所示,图1为现有技术中一种冷却盘体的结构示意图。图1中所示冷却盘体中包括两个相对设置的上盖板1和下底板2,上盖板1和下底板2之间形成应用于冷却水通过的通道,...
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