技术编号:15940874
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件技术领域,具体涉及一种双镜面结构的LED外延片及其制备方法。背景技术随着LED芯片的大量使用,蓝宝石(化学式为Al2O3,三氧化二铝)衬底被广泛地应用于LED芯片的外延层中。蓝宝石衬底分为图形化蓝宝石衬底(Pattern Sapphire Substrate,简称:PSS)和平面蓝宝石衬底,其中,图形化蓝宝石衬底的表面具有尺寸在微米量级的图形阵列,平面蓝宝石衬底具有外延级抛光。通过使用图形化蓝宝石衬底,可以显著地改善LED芯片的外延层的晶体质量,并能通过衬底的图形阵列散射和反...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。