有机薄膜晶体管及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:15940990

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本发明涉及一种有机薄膜晶体管及其制备方法。背景技术有机薄膜晶体管(OTFT)是一种半导体层由有机材料构成的薄膜晶体管,具有重量轻、具有柔性、低制造成本等诸多特点,目前已经被用于电子纸、传感器和记忆体中,并且在柔性显示器和集成电路中表现出应用潜力。有机半导体层可以通过旋涂和刻蚀形成在绝缘基底表面,然而,有机半导体材料对光刻工艺中的溶剂较为敏感,增加了制备难度。传统的薄膜晶体管的半导体层可以通过蒸镀法形成,然而,为了形成均匀的有机半导体层,需要在待镀基底周围形成均匀的气态蒸镀材料。并且,由于难以控制...
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