技术编号:15942480
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及显示技术领域,特别是涉及一种对基板进行清洗处理的基板清洗装置、显影机及基板清洗方法。背景技术彩膜基板制作工艺中,需要先对玻璃基板进行清洗,然后在进行将光阻材料涂布至基板上,使用干燥系统将大部分溶剂抽除,进行预烘烤、曝光、显影及后烘烤等工艺。目前对玻璃基板的清洗主要是去除玻璃基板上的微尘颗粒、异物和有机物等脏污,主要通过滚轮、喷淋机等结构来实现。具体地,在玻璃基板在清洗过程中,由玻璃基板清洗装置的滚轮传送前进,同时通过玻璃基板清洗装置的喷淋机构喷洒水或药液、洗剂等,冲刷表面的微尘颗粒、异...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。